“近年来，在工信部的正确领导下、在中国半导体协会和青海省经信委的大力支持下，国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司（以下简称黄河水电）顺利完成专项攻关，电子级多晶硅产品质量达到国外主要生产企业质量标准，填补了国内半导体应用材料国产化的空白，打破了国内市场长期由国外公司垄断的格局。”近日，在青海西宁召开的集成电路硅材料产业发展座谈会上，黄河水电总经理魏显贵的这番表述为我国电子级多晶硅产业的发展提振了信心。
电子级多晶硅是国家发展集成电路产业的战略原材料。与太阳能级多晶硅相比，其纯度更高，对技术、生产工艺要求更为严苛。长期以来，作为集成电路基础材料的最前端，其生产技术和市场一直被国外垄断，阻碍了我国集成电路产业的发展。“电子级多晶硅是《国家集成电路产业发展推进纲要》确定的发展重点之一。这个产业具有技术门槛高、市场高度垄断、赢利难度大的特点。”在座谈会上，工信部电子司副司长吴胜武指出。
通过多年的努力，国家电投黄河新能源分公司建成了国内第一条电子级多晶硅生产线，生产出符合集成电路应用的高纯电子级多晶硅。2011年11月，黄河水电生产的高纯电子级多晶硅开始由硅片厂家进行质量评估。2013年，电子级多晶硅开始批量销售，并成功应用于集成电路行业。
据黄河公司新能源分公司总经理刘刚介绍，“黄河水电多晶硅”项目采用改良西门子法，年产量达2500吨，实现完全闭路循环，节能低耗、安全环保。其中，冷氢化四氯化硅转化率达到国内最高水平；还原炉回收尾气经处理后，完全实现闭路循环生产；产品后处理采用全程洁净环境流水线。项目符合《多晶硅行业准入条件》，并成功申请了《极大规模集成电路制造装备及成套工艺（02专项）》。
“我们采用了世界一流的标准化专业厂房，具备成熟的洁净生产技术，进行原辅材料、生产过程以及最终成品的检测控制。拥有国内唯一一家能够涵盖电子级多晶硅材料全部检测项目的综合实验室，获得国内首家CNAS认可。”
经过多年生产实践，“黄河水电多晶硅”形成了独有的技术优势，产品指标达到国际先进水平，其中氧含量小于0.02ppma，碳含量小于0.02ppma，受主杂质小于0.03ppba，施主杂质小于0.05ppba，基体总金属杂质小于2ppbw，经第三方权威检测机构检测，产品质量与德国、日本知名多晶硅企业质量相当。
“目前，我们已经得到下游客户的广泛认可，产品用于生产3至8英寸重掺、轻掺抛光片和外延片，经过12英寸抛光片质量评估，与国外产品质量无差异，完全可替代进口产品。可以说，‘黄河水电多晶硅’已经打出了品牌。”刘刚说。
作为全球光伏发电装机最大的企业，黄河水电抓住了新能源发展的有利时机，智能光伏电站、百兆瓦国家级太阳能发电实证基地、850兆瓦龙羊峡“水光互补”并网光伏电站……多个项目的建设，让黄河水电由开发黄河上游水电资源为主的水电企业化身成为全球最大的光伏发电运营商。
在不断推动产品升级的同时，黄河公司始终秉承着“绿色发展、循环发展”的理念，实现节能低耗、安全环保。“当前和今后一段时期是我国集成电路产业发展的重要战略机遇期和攻坚期。黄河公司将继续致力于‘黄河水电多晶硅’核心技术研发和质量提升，以创新驱动引领未来发展，努力将国内电子级多晶硅市场占有率提升至30%以上，力争成为全国重要的集成电路材料生产基地和行业领军企业。”魏显贵告诉记者。
登录后发表评论
