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协鑫再添猛料：纯度99.999999999％，国产电子级多晶硅量产
责任编辑：Lillian
作者：科技日报
2018/6/7 14:25:22
浏览：1505
头条
继昨日爆出保利协鑫出让下属江苏中能硅业51%股权给上海电气的消息后，协鑫今日再添了一剂猛料：协鑫旗下江苏鑫华半导体材料科技有限公司生产的纯度要求达到99.999999999％的电子级多晶硅终于量产。
据悉，经过一系列严格验证、检测，近日鑫华半导体一批集成电路用高纯度硅料出口韩国，同时也向国内部分晶圆加工厂批量供货。这标志着我国半导体集成电路用硅料已经达到国际一流质量标准，也是我国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。
中国是世界最大电子产品制造国，每年对集成电路器件及芯片材料需求巨大，而电子级多晶硅材料是集成电路的关键基础材料，过去中国市场上的集成电路用多晶硅材料基本完全依赖欧美日进口。电子级多晶硅是纯度最高的多晶硅材料，相对于太阳能级多晶硅99.9999％纯度，电子级多晶硅的纯度要求达到99.999999999％，5000吨的电子级多晶硅中总的杂质含量相当于一枚1元硬币的重量。
2015年12月，国家集成电路产业投资基金联手保利协鑫共同投资，成立江苏鑫华半导体材料科技有限公司，建设国内首条5000吨半导体集成电路专用电子级多晶硅生产线。
2017年11月8日，协鑫旗下鑫华半导体正式发布电子级多晶硅产品，标志着我国半导体硅材料突破海外多年技术封锁。
目前，该电子级多晶硅已通过客户验证并形成规模化销售，打破了长期以来国外高纯度材料垄断，填补了该产业在国内的技术空白。
鑫华半导体项目采用改良西门子法循环利用氯硅烷工艺生产电子级多晶硅，第一条生产线的产能为5000吨，可保证国内企业3至5年内电子级多晶硅不会缺货，产品质量满足40nm及以下极大规模集成电路用12英寸单晶制造需求。同时，还将规划再上一条5000吨生产线，以更好地满足国际国内市场。
来源于科技日报，有删改
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